Εξοπλισμός
Σύνθεση και Ανάπτυξη Υλικών
•
Αντιδραστήρες χημικής εναπόθεσης ατμών χαμηλής πίεσης (LPCVD)
•
Σύστημα
πολλαπλών
(3)
συνδεδεμένων
θαλάμων
υψηλού
κενού
για
ανάπτυξη
υμενίων με τις μεθόδους PECVD και καθοδικής ιοντοβολής πολλαπλών στόχων 1’’
•
Σύστημα καθοδικής ιοντοβολής μικρής κλίμακας
•
Θερμικός εξαχνωτής υψηλού κενού
•
Γαλβανιστήριο
•
Διάταξη ηλεκτροαπόθεσης και ανοδίωσης
Μέθοδοι Χαρακτηρισμού Υλικών
Δομικός Χαρακτηρισμός με μεθόδους Ακτίνων-Χ
•
Φασματοσκόπιο
Φωτοηλεκτρονίων
Ακτίνων-Χ
και
Ηλεκτρονίων
Auger
(XPS/AES)
Kratos
Analytical
Axis
Ultra
DLD
σε
συνδυασμό
με
Ηλεκτρονική
Μικροσκοπία
Σάρωσης ηλεκτρονίων Auger (SAM/AES) (διατμηματικό όργανο)
•
Περιθλασίμετρα
δύο
Κύκλων
με
γεωμετρία
Bragg-Brentano
Rigaku
Ultima
Plus
και
Philips PW 1050
•
Περιθλασίμετρο δύο κύκλων με γεωμετρία Διερχόμενης Δέσμης Seifert C3000
Οπτικός Χαρακτηρισμός
•
Φασματοσκόπιο υπερύθρου FTIR BRUKER 113v εύρους 20000-20 cm‾¹
•
Διάταξη μικροφασματοσκοπίας FTIR Spectrum1000 της εταιρείας Perkin-Elmer με:
o
Variable
Angle
Specular
Reflectance
για
μετρήσεις
κατοπτρικής
ανακλαστικότητας σε δείγματα με λεία επιφάνεια.
o
Diffuse
Reflectance
για
μετρήσεις
διάχυτου
ανακλαστικότητας
(σκέδαση)
σε
δείγματα με τραχεία επιφάνεια.
•
Φασματοσκόπιο
Ορατού-Υπεριώδους
(UV-Vis)
Perkin-Elmer
Lambda18
(με
σφαίρα
ολοκλήρωσης) φασματικής περιοχής 200-900 nm.
Θερμική Ανάλυση
•
Σύστημα
Θερμοσταθμικής
Διαφορικής
Θερμικής
Ανάλυσης
TG-DTA
υψηλής
ακρίβειας
SETARAM
SETSYS
16/18,
με
δυνατότητα
μέτρησης
μέχρι
τους
1750
°C
σε
διαφορετικά
περιβάλλοντα
(αζώτου,
οξυγόνου,
ατμοσφαιρικού
αέρα)
με
ρυθμιζόμενη ροή ή υπό κενό.
•
Σύστημα
Διαφορικής
Θερμιδομετρίας
Σάρωσης
(DSC)
SETARAM
DSC
141
με
δυνατότητα εργασίας θερμοκρασιακού εύρους -70 °C-500 °C.
Πρόσβαση σε διατμηματικά όργανα
•
Ηλεκτρονική
Μικροσκόπια
Σάρωσης
εξοπλισμένη
με
αναλυτικές
τεχνικές
(SEM/EDX,
SEM/WDX).
•
Φθοροσίμετρο Ακτίνων-Χ Διαχωρισμού Μήκους Κύματος (WD-XRF).
Υποστηρικτικός Εξοπλισμός
Αυτόματος μικροτόμος κοπής σκληρών δειγμάτων RM2155, Leica
Ηλεκτρονικός Ζυγός ακριβείας τεσσάρων δεκαδικών ψηφίων KERN 770
Υδραυλική
πρέσα
Beckman
Ltd
και
υποδοχείς
κατασκευής
δισκίων
με
έμβολα
διαμέτρων
5-
20 mm
Συσκευή φυγοκέντρισης SL16, Thermo Fisher Scientific
Σύστημα διαχωρισμού κόκκων (sieving) (20 – 200 μm)
Προγραμματιζόμενοι
φούρνοι
ενιαίας
θερμοκρασίας
(μέχρι
1600
°C),
πολλών
ζωνών
(μέχρι
1300
°C),
τύπου
box,
σωληνωτοί,
ξηραντήρια
και
θάλαμοι
σταθερής
θερμοκρασίας
μέχρι
150 °C
Μικροσκληρόμετρο με ενσωματωμένο μεταλλογραφικό μικροσκόπιο
